世界最小LED在浙江大學問世

據浙江大學20日消息，該校光電科學與工程學院/海寧國際聯合學院狄大衛教授和趙保丹研究員團隊，成功研發出微米和納米鈣鈦礦LED，其降尺寸過程僅造成微弱的性能損耗。其中，最小尺寸僅為90納米的納米鈣鈦礦LED，為迄今為止公開報道的最小LED像素。相關研究論文發表在國際期刊《自然》上。

狄大衛介紹，目前世界最先進的顯示技術是基于Ⅲ-Ⅴ族半導體的微型發光二極管，可實現超高清、超高精度的光電顯示。但受限于復雜的工藝技術，微型發光二極管制造成本極高，當像素尺寸減小到約10微米或更小時，效率會急劇下降。

從Ⅲ-Ⅴ族半導體的微型發光二極管的微型化研究中獲得啟發，狄大衛團隊開始研制用于未來顯示技術的更小的鈣鈦礦LED，于2021年首次提出“微型鈣鈦礦LED”概念，并獲得國家與國際專利。

用傳統光刻工藝制造微型鈣鈦礦LED會破壞鈣鈦礦材料。為此，研究團隊設計出一套局域接觸工藝，通過光刻制作的圖案化窗口確保像素區域遠離電極邊緣，能夠制造像素尺寸從數百微米到90納米的鈣鈦礦LED，同時保證了LED的發光效率。

據悉，微米和納米鈣鈦礦LED在AR/VR顯示等領域具有巨大應用潛力。